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Optimierung der Chip-Herstellung mithilfe von Mikrokalorimetern

Eines der größten Probleme bei der Chip-Herstellung bilden kleine Partikel, die während des Herstellungsprozesses entstehen, die Chips verunreinigen und sie dadurch unbrauchbar machen. Christian Enss, Professor am Kirchhoff-Institut für Physik der Universität Heidelberg, ist es gelungen, mithilfe von Mikrokalorimetern die Partikel zuverlässiger und zudem noch mit deutlich weniger Energieaufwand zu identfizieren.

Der Beitrag über den Einsatz von Mikrokalorimetern in der Chip-Herstellung erschien in der Sendereihe "Campus-Report" - einer Beitragsreihe, in der über aktuelle Themen aus Forschung und Wissenschaft der Universitäten Heidelberg, Mannheim, Karlsruhe und Freiburg berichtet wird. Zu hören ist "Campus-Report" montags bis freitags jeweils um ca. 19.10h im Programm von Radio Regenbogen. (Empfang in Nordbaden: UKW 102,8. In Mittelbaden: 100,4 und in Südbaden: 101,1)

Metadaten

Institut: Fakultät für Physik und Astronomie > Kirchhoff-Institut für Physik
DDC-Sachgruppe: 530 Physik
670 Industrielle Fertigung
Sprache: Deutsch
Erstellungsjahr: 4 November 2013
Publikationsdatum: 04 Nov. 2013 08:54
Dauer: 2 Minuten (1,8 MB)
URN: urn:nbn:de:bsz:16-heidok-156567
URL: http://www.ub.uni-heidelberg.de/archiv/15656
Seitenbearbeiter: E-Mail
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