%0 Generic %A Frieß, Frank %D 2002 %F heidok:2101 %K PVD-Prozess, Coating, Glas %R 10.11588/heidok.00002101 %T Herstellung von optisch aktiven Vanadiumdioxidschichten für die Beschichtung von Architekturglas %U https://archiv.ub.uni-heidelberg.de/volltextserver/2101/ %X Im Rahmen dieser Arbeit wurden thermochrome Vanadiumdioxidschichten auf Glas abgeschieden. Die Abscheidung erfolgte durch ionenstrahlgestütztes Aufdampfen im Vakuum (IBAD). Die Filmeigenschaften wurden mittels XRD, AFM, XPS, UV-VIS-NIR, RBS, REM, Profilometrie und in temperaturabhängigen Widerstandsmessungen verifiziert.