TY - GEN ID - heidok23016 Y1 - 2017/// UR - https://archiv.ub.uni-heidelberg.de/volltextserver/23016/ AV - public A1 - Stenau, Tim N2 - In dieser Arbeit werden das Konzept und potenzielle Anwendungen diffraktiver Linsen mit überlappenden Aperturen vorgestellt. Die herausragende Eigenschaft dieser Linsenarrays ist, dass die Fokusgröße unabhängig vom lateralen Abstand der Foki in der Fokalebene ist. Skalare Methoden zum Design der Mikrolinsenarrays werden beschrieben, die neben der Erzeugung einfacher punktförmiger und ringförmiger Foki auch die Erzeugung von komplexen Fokalgeometrien ermöglichen. Anhand skalarer wellenoptischer Simulationen werden die Eigenschaften der diffraktiven Linsen mit überlappenden Aperturen untersucht sowie Abweichungen von der idealen Struktur analysiert und quantifiziert. Die Simulationen zweier binärer diffraktiver Linsenarrays mit hohen numerischen Aperturen und integrierter Deckglaskorrektur sowie großem Überlappfaktor werden experimentell bestätigt. Des Weiteren werden Beispielanwendungen aufgezeigt, die von diffraktiven Linsen mit überlappenden Aperturen profitieren, wie z. B. das parallel scannende Mikroskop. Hier ermöglichen diffraktive Linsen mit überlappenden Aperturen gleichzeitig ein großes Sichtfeld, eine hohe Auflösung und einen großen Arbeitsabstand. Experimentell wird ein Demonstrator realisiert, der mit einem maximalen Sichtfeld von ca. 900 ?m × 1200 ?m und einem Arbeitsabstand von 2 mm Strukturen bis zu 450 nm auflöst. Außerdem wird mit rigorosen Simulation überprüft, inwieweit die skalare Simulation und das skalare Design valide sind. Selbst bei einer hohen numerischen Apertur von 0,9 erzeugen skalar designte Linsenarrays stark lokalisierte Foki. TI - Diffraktive Linsen mit überlappenden Aperturen in Simulation und Anwendung ER -