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datestamp: 1999-01-08 13:55:00
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status_changed: 2012-08-14 14:58:28
type: masterThesis
metadata_visibility: show
creators_name: Schneider, Peter
title: Simulation und Visualisierung elektrischer und optischer Eigenschaften von Halbleiterbauelementen
ispublished: pub
subjects: 530
divisions: 130700
keywords: CMOS/BiCMOS-Prozesses , Bauelement-Simulatoren , parasitären Eigenschaften , intrinsischen Eigenschaften,CMOS/BiCMOS-process , Device-Simulators , semiconductor , electrical behaviour , modifying geometry
cterms_swd: CMOS
cterms_swd: BICMOS
cterms_swd: Halbleiterbauelement
cterms_swd: Simulator
cterms_swd: Prozesssimulation
abstract: Bauelement-Simulatoren ermöglichen Einblicke in die inneren physikalischen Funktionen von Elementen der Halbleitertechnik. In der vorliegenden Arbeit werden mit Hilfe eines kommerziellen Software-Systems die elektrischen und optischen Eigenschaften von Halbleiterbauelementen untersucht, sowie deren elektrisches Verhalten bei Modifikationen der Geometrie und Störstellenverteilung evaluiert. Die Architekturen der Elemente werden anhand von Dotierprofilen des 0,8um CMOS/BiCMOS-Prozesses einer Chip-Herstellerfirma erstellt, mit der das ASIC-Labor Heidelberg zusammenarbeitet. Dabei werden sowohl die intrinsischen, als auch die parasitären Eigenschaften von Bausteinen der Mikroelektronik beschrieben. Die Ergebnisse werden mit Hilfe farblich abgestufter Konturplots visualisiert. Device-Simulators offer the possibility to gain an insight into the physical functions of semiconductor devices. This thesis shows the electrical and optical characteristics of microelectronic devices using a commercial software system. Additionally it determines the electrical behaviour while modifying geometry and density of impurities. In order to layout the devices rather realistically, they are designed with doping profiles of the 0,8um CMOS/BiCMOS-process of a chip manufacturer, which cooperates with the ASIC-Laboratory Heidelberg. Intrinsic as well as parasitic properties of semiconductor devices are also evaluated. The results will be visualized in forms of rainbow coloured contour plots. 
class_scheme: pacs
class_labels: 85.40.Qx, 85.30.De, 07.05.Tp, 02.60.Cb
date: 1998
date_type: published
id_scheme: DOI
id_number: 10.11588/heidok.00000477
ppn_swb: 1643162888
own_urn: urn:nbn:de:bsz:16-heidok-4773
language: ger
bibsort: SCHNEIDERPSIMULATION1998
full_text_status: public
citation:   Schneider, Peter  (1998) Simulation und Visualisierung elektrischer und optischer Eigenschaften von Halbleiterbauelementen.  [Master's thesis]     
document_url: https://archiv.ub.uni-heidelberg.de/volltextserver/477/1/80_1.pdf