TY  - GEN
N2  - In dieser Dissertation wird eine Methode zur simultanen, optischen Objektvermessung basierend auf Weißlicht-Interferometrie vorgestellt. Das Verfahren beruht auf dem Prinzip des räumlichen Phasenschiebens und profitiert gegenüber herkömmlichen sequentiellen Techniken vom Verzicht beweglicher mechanischer Komponenten. Als statischer optischer Aufbau zeichnet es sich durch seine Robustheit aus und eignet sich somit für Anwendungsgebiete außerhalb des Labors. Auf Grund der simultanen Signalerfassung ist es nicht nur für die berührungslose Qualitätskontrolle interessant, sondern auch für medizinische Applikationen und zur quantitativen Beobachtung dynamischer Oberflächenprozesse. Im ersten Teil der Arbeit wird die Entwicklung des Systems im Kontext physikalischer Voraus-setzungen und technischer Randbedingungen diskutiert. Darauf folgt die Untersuchung einzelner Komponenten und deren Einflusses auf das Gesamtsystem. Ein weiterer Schwerpunkt der Arbeit liegt in den statistischen Eigenschaften der Speckle-Felder, die sich durch Reflexion diffus streuender Medien ausbilden. Bereits existierende Theorien, die den Einfluss von Speckle auf die longitudinale Auflösung der Weißlicht-Interferometrie beschreiben, werden mit dieser Arbeit vervollständigt. Mit Hilfe der entwickelten Methoden zur Simulation und experi-mentellen Überprüfung lassen sich die theoretischen Vorhersagen verdeutlichen und veri-fizieren. Sowohl für simultane als auch sequentielle Verfahren sind diese Ergebnisse insbe-sondere bei der Entwicklung hochaperturiger Systeme entscheidend.
A1  - Hering, Marco
UR  - https://archiv.ub.uni-heidelberg.de/volltextserver/7470/
KW  - Weißlicht-Interferometriewhite-light interferometry
ID  - heidok7470
AV  - public
Y1  - 2007///
TI  - Angewandte statistische Optik in der Weißlicht-Interferometrie : Räumliches Phasenschieben und Einfluss optisch rauer Oberflächen
ER  -