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Abstract

Eines der größten Probleme bei der Chip-Herstellung bilden kleine Partikel, die während des Herstellungsprozesses entstehen, die Chips verunreinigen und sie dadurch unbrauchbar machen. Christian Enss, Professor am Kirchhoff-Institut für Physik der Universität Heidelberg, ist es gelungen, mithilfe von Mikrokalorimetern die Partikel zuverlässiger und zudem noch mit deutlich weniger Energieaufwand zu identfizieren.

Der Beitrag über den Einsatz von Mikrokalorimetern in der Chip-Herstellung erschien in der Sendereihe "Campus-Report" - einer Beitragsreihe, in der über aktuelle Themen aus Forschung und Wissenschaft der Universitäten Heidelberg, Mannheim, Karlsruhe und Freiburg berichtet wird. Zu hören ist "Campus-Report" montags bis freitags jeweils um ca. 19.10h im Programm von Radio Regenbogen. (Empfang in Nordbaden: UKW 102,8. In Mittelbaden: 100,4 und in Südbaden: 101,1)